Komora próżniowa
Dotykowy panel kontrolny
Obrotowy stolik na próbki, 24 sloty dla 12,7 mm końcówek SEM (wymienialny)
Usuwalne osłony, schutter i drzwi
Monitorowanie grubości warstwy napylonej przy pomocy systemu Quartz (QSG)
Źródła węglowe (nici), złote i srebrne
Gazy: Ar
Automatyczne ustawianie wysokości i nachylenia podczas napylania
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Małopolskiego Regionalnego Programu Operacyjnego na lata 2007/2013
cofnij